蒸着装置における膜厚監視制御装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八木田茂 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-217464
公開番号（公開出願番号）：特開平8-082516
出願日： 1994年09月12日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】周波数測定分解能を従来のレベルより1〜2桁上げることができるようにする。【構成】 1は蒸着装置のチャンバ内に配置される水晶振動子、2は発振器であり、この発振器2の出力はダブルバランスミキサ3の入力に接続されている。ダブルバランスミキサ3の出力は低域フイルタ5及び増幅器6を介して分周器7に接続され、低域フイルタ5はダブルバランスミキサ3からの出力信号のうち差の信号のみを分周器7へ通す。分周器7は一方ではゲート8及びカウンタ9を介してCPU10に接続され、他方ではCPU10に直接接続されている。ゲート8には周期測定のための基準周波数信号を発生する基準周波数発生器11が接続されている。また、発振器2の出力はまた別の分周器12及び補助カウンタ13を介してCPU10に接続されている。補助カウンタ13はKHz程度の分解能センサの発信周波数を測定する。

請求項（抜粋）：

圧電結晶に成膜される膜厚をモニタし、蒸着源を制御する蒸着装置における膜厚監視制御装置制御装置の周波数を測定する回路において、少なくとも一つのビート周波数を発生するビート周波数発生手段と、圧電結晶の周波数とビート周波数との差を取る手段と、圧電結晶の周波数とビート周波数との差を固定または可変で分周する分周器と、分周器で分周された周波数でゲートを開き、その周期を基準周波数に基づいて測定し、圧電結晶の周波数を測定するカウンタ回路とを有することを特徴とする蒸着装置における膜厚監視制御装置。

IPC (3件)：

G01B 17/00 , C23C 14/54 , G01B 21/08

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭53-033650
化学センシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-027962 出願人：日本電信電話株式会社
特開平2-217468

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