像観察方法および走査電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：井島藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-047001
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235438
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】誰でもが試料の種類と観察目的に応じた最適な条件で走査電子顕微鏡の像を観察することができる走査電子顕微鏡における像観察方法および走査電子顕微鏡を実現する。【解決手段】メモリー21には、あらかじめ、試料の種類に応じた加速電圧の範囲、スポットサイズの範囲、倍率に応じたスポットサイズの範囲、分析の手段に応じた加速電圧の範囲、スポットサイズの範囲が記憶されている。ここで、走査電子顕微鏡を用いて特定の観察を行おうとする場合、まず最初にオペレータはポインティングデバイス22を用いて観察目的の指示モードを選択する。そうすると、制御装置13は表示制御回路18を制御して、ディスプレイ20上に条件選択画面を表示する。オペレータは、条件選択画面を用いて必要な条件を選択する。条件が選択されると、メモリー21からその条件に最適な観察条件が読み出され、制御装置13はその観察条件に基づいて電子光学系の制御を行う。

請求項（抜粋）：

電子ビームを発生し加速する電子銃と、電子ビームを試料上に集束するための集束レンズと、試料上の電子ビームの照射位置を走査するための走査手段と、試料への電子ビームの照射によって得られた信号を検出する検出器と、検出器の検出信号に基づいて試料像を表示する表示手段とを備えた走査電子顕微鏡において、少なくとも試料の種類、試料表面の状態、観察倍率の組み合わせに応じた最適な電子ビームの加速電圧、試料上のスポットサイズをメモリーに記憶させ、入力手段により、観察すべき試料の種類、試料表面の状態、観察倍率の組み合わせを入力することにより、メモリーからその組み合わせに対応した加速電圧とスポットサイズを読みだし、読み出された加速電圧に応じて電子銃を制御し、スポットサイズに応じて集束レンズを制御するようにした走査電子顕微鏡における像観察方法。

IPC (3件)：

G01N 23/225 , H01J 37/04 , H01J 37/21

FI (3件)：

G01N 23/225 , H01J 37/04 A , H01J 37/21 B

Fターム (27件)：

2G001AA03 , 2G001BA05 , 2G001BA08 , 2G001BA15 , 2G001CA03 , 2G001DA06 , 2G001EA01 , 2G001EA03 , 2G001FA06 , 2G001GA05 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001GA13 , 2G001GA19 , 2G001JA02 , 2G001JA05 , 2G001JA06 , 2G001JA07 , 2G001JA20 , 2G001KA01 , 2G001NA17 , 2G001PA07 , 5C030AA01 , 5C030AA04 , 5C030AA10 , 5C030AB02 , 5C033MM03

引用特許：

審査官引用 (1件)

荷電粒子線装置およびその観察方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-166720 出願人：株式会社日立製作所

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