特許
J-GLOBAL ID：200903031857689516
画像取り込み装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三浦 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-312510
公開番号（公開出願番号）：特開2004-145195
出願日： 2002年10月28日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：
【課題】高精細の被検体の表面形状の測定を高速に行うことのできる画像取り込み装置を提供する。【解決手段】被検体を載せるためのステージ、被検体に紫外線を照射するための光源、被検体との焦点状態を同じにする第1光学系と第2光学系を有する光学顕微鏡、及びステージと光学顕微鏡との相対距離を調整するための焦点調整機構、を有し、第1光学系は、第2光学系よりも画像の取り込み速度が早く、焦点調整機構を介して光学顕微鏡を合焦させる、画像コントラスト方式の焦点検出手段を有し、第2光学系は、第1光学系よりも解像度が高い、被検体の形状情報を取り入れる画像取り込み部を有している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被検体を載せるためのステージ、
前記被検体に紫外線を照射するための光源、
前記被検体との焦点状態を同じにする第1光学系と第2光学系を有する光学顕微鏡、及び
前記ステージと光学顕微鏡との相対距離を調整するための焦点調整機構、
を有し、
前記第1光学系は、第2光学系よりも画像の取り込み速度が早く、前記焦点調整機構を介して光学顕微鏡を合焦させる、画像コントラスト方式の焦点検出手段を有し、
前記第2光学系は、第1光学系よりも解像度が高い、前記被検体の形状情報を取り入れる画像取り込み部を有することを特徴とする画像取り込み装置。
IPC (6件)：
G02B7/28
, G02B7/36
, G02B21/16
, G02B21/26
, G02B21/36
, H04N5/225
G02B7/11 J
, G02B21/16
, G02B21/26
, G02B21/36
, H04N5/225 C
, G02B7/11 M
, G02B7/11 D
2H051AA10
, 2H051AA11
, 2H051BA44
, 2H051BA47
, 2H051BA49
, 2H051BA70
, 2H051CB01
, 2H051CB02
, 2H051CB11
, 2H051CB20
, 2H051CB29
, 2H052AC04
, 2H052AC12
, 2H052AD09
, 2H052AF14
, 5C022AB15
, 5C022AB28
, 5C022AC42
, 5C022AC54
, 5C022CA01
