特許

J-GLOBAL ID：200903031878138790

スピン処理装置

発明者： 金子 勝則 ,  磯 明典 ,  広瀬 治道 ,  原 暁
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-083489
公開番号（公開出願番号）：特開平11-283902
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 この発明は回転テ-ブを回転させて基板を処理する際に、その基板が微粒子などによって汚染されずらいスピン処理装置を提供することにある。【解決手段】 カップ21と、このカップの底部中心部から内部へ挿通された回転駆動される駆動軸26と、この駆動軸に連結されて回転させられるとともに上面に基板20が保持される回転テ-ブル27と、上記カップの底部に設けられ上記回転テーブルの回転によって発生する空気流を排出する排出管42と、上記カップの内底部に設けられ上記回転テーブルの回転によって発生する空気流を整流して上記排気管へ導く整流体34とを具備し、上記整流体は、上面が上記カップ内の空気の流れ方向に沿って漸次低く傾斜した傾斜面37aに形成されているとともに先端部に上記空気流を導入する導入口38が開口形成された複数の風洞部37が上記カップの周方向に沿って設けられてなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板を回転させることで、この基板に所定の処理を行うスピン処理装置において、カップと、このカップの底部中心部から内部へ挿通された回転駆動される駆動軸と、この駆動軸に連結されて回転させられるとともに上面に上記基板が保持される回転テ-ブルと、上記カップの底部に設けられ上記回転テーブルの回転によって発生する空気流を排出する排出手段と、上記カップの内底部に設けられ上記回転テーブルの回転によって発生する空気流を整流して上記排出手段へ導く整流体とを具備し、上記整流体は、上面が上記カップ内の空気の流れ方向に沿って漸次低く傾斜した傾斜面に形成されているとともに先端部に上記空気流を導入する導入口が開口形成された中空状をなし上記カップの周方向に沿って設けられた複数の風洞部およびこの風洞部内に導入された空気流を上記排出手段へ導く流通部とを有することを特徴とするスピン処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/304 643

FI (4件)：

H01L 21/30 564 C ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/304 643 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 回転式基板塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-203935   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 特開平4-303919