特許
J-GLOBAL ID:200903031889048121
観察装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
上田 邦生
, 藤田 考晴
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-294057
公開番号(公開出願番号):特開2007-102029
出願日: 2005年10月06日
公開日(公表日): 2007年04月19日
要約:
【課題】単純な構成で、装置内部の状況を把握でき、かつ、試料交換時の作業性を向上する。【解決手段】試料11を載置するためのステージ8と、試料11の拡大、縮小像を投影する光学系と、ステージ8および前記光学系を覆うカバー3と、該カバー6の一部となっている開閉部材7と、該開閉部材7の開閉状態を検知するための検知部と、ステージ8を移動させるためのステージ駆動部とを有し、検知部により開閉部材7が開いていることが検知された場合に限り、ステージ駆動部により開閉部材7によって遮蔽されていたカバー6の開口部からカバー6の外側へ、ステージ8が移動可能となる観察装置を提供する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
試料を載置するためのステージと、
前記試料の拡大、縮小像を投影する光学系と、
前記ステージおよび前記光学系を覆うカバーと、
該カバーの一部となっている開閉部材と、
該開閉部材の開閉状態を検知するための検知部と、
前記ステージを移動させるためのステージ駆動部とを有し、
前記ステージは、前記検知部により前記開閉部材が開いていることが検知された場合に限り、前記ステージ駆動部により前記開閉部材によって遮蔽されていた前記カバーの開口部から前記カバーの外側へ移動可能となる観察装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (3件):
2H052AD18
, 2H052AD31
, 2H052AF01
引用特許:
出願人引用 (1件)
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顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-176920
出願人:株式会社ニコン
審査官引用 (3件)
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顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-176920
出願人:株式会社ニコン
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多重出力麻酔システム
公報種別:公表公報
出願番号:特願2003-569261
出願人:ゼノジェンコーポレイション
-
ステージ装置およびデバイス製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-211172
出願人:キヤノン株式会社
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