ステージ装置およびデバイス製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-211172
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038377
出願日： 1997年07月23日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】ステージの駆動におけるケーブル等の負荷を軽減する。【解決手段】ステージ1、8の移動に追従可能に案内された可動部分6と、この可動部分を前記ステージの移動に追従させて駆動する駆動制御手段を備え、前記ステージへの配線または配管を前記可動部分を経由して行う。

請求項（抜粋）：

ステージの移動に追従可能に案内された可動部分と、この可動部分を前記ステージの移動に追従させて駆動する駆動制御手段を備え、前記ステージへの配線または配管が前記可動部分を経由して行われていることを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

G02F 1/13 101 , G09F 9/00 339 , H01L 21/027

FI (3件)：

G02F 1/13 101 , G09F 9/00 339 Z , H01L 21/30 502 J

引用特許：

審査官引用 (1件)

前のページに戻る