特許
J-GLOBAL ID：200903031908979263
ペリクルおよびペリクルの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-102673
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292909
出願日： 1999年04月09日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 通気性を確保しつつ、より微細な異物(塵埃)をも捕捉できるような通気機構を有するペリクルおよびこのようなペリクルの製造方法を提供することである。【解決手段】 内部にフィルターが配置された溝状の切欠部を上端面および/または下端面に少なくとも一つ有するペリクル枠を具備することを特徴とするペリクルである。
請求項（抜粋）：
内部にフィルターが配置された溝状の切欠部を上端面および/または下端面に少なくとも一つ有するペリクル枠を具備することを特徴とするペリクル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 K
, H01L 21/30 502 P
