特許
J-GLOBAL ID：200903031913552995
プロセス加工工程の異常抽出方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-290727
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135091
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 製品の品質結果情報と品質に影響を与える情報との因果関係から具体的な品質に影響を与える項目を迅速にかつ誰でも活用できるように抽出する。【解決手段】 半導体製造工場の拡散工程等のプロセス加工工程における製品の品質結果情報と製品の品質に影響を与える情報を記憶する記憶装置2と、記憶装置2に記憶された製品の品質結果情報を目的変数とし、製品の品質に影響を与える情報を説明変数としてそれらの因果関係を、解析を何段階かに分けて一回の解析の説明変数の数を一定にして自動的に異常項目(説明変数)を絞り込み、この絞り込みを複数回行って異常の候補を抽出して解析する多段階多変量解析手段4とを備えている。
請求項（抜粋）：
半導体製造工場の拡散工程等のプロセス加工工程において、歩留り情報や電気的特性情報等の製品の品質結果情報と、製造装置履歴情報、製造条件情報やインライン測定情報等の製品の品質に影響を与える情報とを用い、これら製品の品質結果情報と製品の品質に影響を与える情報との因果関係を多段階多変量解析手段にて解析することを特徴とするプロセス加工工程の異常抽出方法。
引用特許：
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