特許
J-GLOBAL ID：200903031933328978

プロセスガス供給ユニット

発明者：
須藤 良久

須藤 良久 について

, 
伊藤 稔

伊藤 稔 について


出願人/特許権者：
シーケーディ株式会社

シーケーディ株式会社 について


代理人 (1件)： 富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-137284
公開番号（公開出願番号）：特開2000-035151
出願日： 1998年05月20日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：
【要約】【課題】 本発明は上記問題点を解決し、コンパクト化したプロセスガス供給ユニットを提供することを目的とする。【解決手段】 入力開閉弁と、マスフローコントローラと、出口開閉弁とを有するプロセスガス供給ユニットにおいて、前記入口開閉弁及び前記出口開閉弁とが入力電磁弁17、出力電磁弁19であって、中空状のボビン41の外周に巻線されたコイル32と、ボビン41の中空部に上側から装着され下側に突き出した固定鉄心40と、コイル32に通電されたときに固定鉄心40に吸引される可動鉄心33と、内周が可動鉄心に固設され外周が電磁弁本体に固設されコイルに通電されていないときに可動鉄心を弁シート35が弁座39に当接する方向に付勢する板バネ34とを有している。
請求項（抜粋）：
入口開閉弁と、マスフローコントローラと、出口開閉弁とを有するプロセスガス供給ユニットにおいて、前記入口開閉弁及び前記出口開閉弁とが、電磁式開閉弁であって、中空状のボビンの外周に巻線されたコイルと、前記ボビンの中空部に上側から装着され下側に突き出した固定鉄心と、前記コイルに通電されたときに、前記固定鉄心に吸引される可動鉄心と、内周が前記可動鉄心に固設され、外周が電磁弁本体に固設され、前記コイルに通電されていないときに、前記可動鉄心を前記弁シートが弁座に当接する方向に付勢する板バネとを有することを特徴とするプロセスガス供給ユニット。
IPC (4件)：
F16K 31/06 385 ,  F16K 37/00 ,  F16K 51/00 ,  H01L 21/3065
FI (4件)：
F16K 31/06 385 F ,  F16K 37/00 J ,  F16K 51/00 Z ,  H01L 21/302 B
Fターム (31件)：
3H065AA01 ,  3H065BB11 ,  3H065CA07 ,  3H066AA01 ,  3H066BA12 ,  3H066BA17 ,  3H066BA38 ,  3H106DA07 ,  3H106DA13 ,  3H106DA23 ,  3H106DB02 ,  3H106DB12 ,  3H106DB23 ,  3H106DB32 ,  3H106DB38 ,  3H106DC02 ,  3H106DC17 ,  3H106DD03 ,  3H106EE30 ,  3H106EE34 ,  3H106EE42 ,  3H106EE48 ,  3H106FB11 ,  3H106FB12 ,  3H106FB40 ,  3H106GA24 ,  3H106GC26 ,  3H106KK01 ,  3H106KK31 ,  5F004AA16 ,  5F004BC03
引用特許：
審査官引用 (6件)
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