特許

J-GLOBAL ID：200903031951920310

接着シート及びその使用方法

発明者： 中村 幸二 ,  高橋 弘樹
出願人/特許権者： 新日鐵化学株式会社
代理人 (3件)： 成瀬 勝夫 ,  中村 智廣 ,  佐野 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-098245
公開番号（公開出願番号）：特開2007-273768
出願日： 2006年03月31日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：

【課題】接着テープ自体に光硬化成分と光遮蔽成分を配合して、光照射によりダイシングテープとの界面のみの密着力を低下させることにより、ピックアップ時にダイシングテープとの剥離を容易にする接着シートを提供する。【解決手段】あらかじめダイシングテープの半導体ウエハを仮接着する面に一体的に積層して用いられる接着シートにおいて、少なくとも(A)光硬化型粘着成分、(B)光重合開始剤、(C)フィラー、(D)光遮蔽成分を必須の成分として含有する接着シート。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

ダイシングテープの半導体ウエハを仮接着する面に、あらかじめ一体的に積層して用いられる接着シートにおいて、少なくとも(A)光硬化型粘着成分、(B)光重合開始剤、(C)フィラー及び(D)光遮蔽成分を必須の成分として含有することを特徴とする接着シート。

IPC (7件)：

H01L 21/52 ,  H01L 21/301 ,  C09J 201/00 ,  C09J 11/04 ,  C09J 163/00 ,  C09J 7/00 ,  H01L 21/683

FI (8件)：

H01L21/52 E ,  H01L21/78 M ,  H01L21/78 Y ,  C09J201/00 ,  C09J11/04 ,  C09J163/00 ,  C09J7/00 ,  H01L21/68 N

Fターム (32件)：

4J004AA13 ,  4J004AB01 ,  4J004AB07 ,  4J004BA02 ,  4J004FA04 ,  4J004FA05 ,  4J040HA026 ,  4J040HA306 ,  4J040HC01 ,  4J040JB08 ,  4J040JB09 ,  4J040KA13 ,  4J040KA16 ,  4J040KA42 ,  4J040LA09 ,  4J040MB03 ,  4J040NA20 ,  5F031CA02 ,  5F031CA13 ,  5F031DA15 ,  5F031DA20 ,  5F031EA02 ,  5F031EA03 ,  5F031HA78 ,  5F031MA34 ,  5F031MA35 ,  5F031MA39 ,  5F031PA21 ,  5F047BA24 ,  5F047BA34 ,  5F047BA54 ,  5F047BB03

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 薄型フィルム状接着剤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-065302   出願人：新日鐵化学株式会社
• 接着シートならびに半導体装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-108016   出願人：日立化成工業株式会社
• 粘接着テープおよびその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-045648   出願人：リンテック株式会社
• 粘接着テープおよびその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-164828   出願人：リンテック株式会社