特許

J-GLOBAL ID：200903031974658745

ステ-ジ回転を補償するために極座標ステ-ジ及び連続画像回転を用いる装置及びその装置による測定方法

発明者： ロバート・ブキャナン ,  リチャード・エイ・ヤルーシ ,  ブライン・アール・スペーディ
出願人/特許権者： ナノメトリックス・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-187361
公開番号（公開出願番号）：特開2000-207028
出願日： 1999年07月01日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】 極座標ステージによる面積節約を実現すると共に、画像回転及び移動速度の変動による混乱をなくすシステム及び方法を提供する。【解決手段】 その方法は極座標ステージを制御して画像処理システムに対して物体を移動させる。物体を移動中に物体の画像を回転させ、物体の回転を補償する。従って画像内の構造の方向は保持され、画像内の明らかな回転を除去することにより、物体移動中にオペレータが経験する混乱は低減される。物体の移動角速度は、画像シフト速度が視認される点の径方向の位置と独立になるように制御される。極座標ステージを用いることにより、そのステージが必要とする装置面積を低減し、プレアライメントを容易にする。詳細には極座標ステージが物体を回転中に、エッジ検出部が物体位置を測定する。自動パターン認識を用いるプレアライメントプロセスが測定したエッジ位置から物体の位置及び方向を判定する。

請求項（抜粋）：

装置であって、線形駆動部を備え、また前記線形駆動部上に載置される回転式プラットフォームを備える極座標ステージであって、画像処理される物体が前記回転式プラットフォーム上に載置される、該極座標ステージと、画像処理システムと、画像回転部と、前記極座標ステージ及び前記画像回転部に接続される制御システムとを備え、前記制御システムにより前記画像回転部が制御され、また前記画像回転部が、回転式プラットフォームの回転を補償し、画像内の構造の方向を保持するように前記画像を回転させることを特徴とする装置。

IPC (5件)：

G05D 3/12 ,  G01B 11/00 ,  G01N 13/10 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

G05D 3/12 L ,  G01B 11/00 A ,  G01N 13/10 Z ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/68 F

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 画像安定化方法および装置、ならびに、カメラ姿勢制御方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-274614   出願人：株式会社トキメック