特許
J-GLOBAL ID:200903031994069185
撥液膜の形成方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石田 敬 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-320063
公開番号(公開出願番号):特開平10-157013
出願日: 1996年11月29日
公開日(公表日): 1998年06月16日
要約:
【要約】【課題】 膜厚がより厚くかつこの膜厚が均一な撥液膜の形成方法を提供する。【解決手段】 金属アルコキシドと、アルコキシル基の一部がフルオロアルキル基により置換されているフルオロアルキル基置換アルコキシドとを含む被覆溶液を基材に塗布し、次いで焼成することからなる撥液膜の形成方法において、前記被覆溶液を基材に塗布する前に前記フルオロアルキル基置換アルコキシドの重合を促進させておく。
請求項(抜粋):
金属アルコキシドと、アルコキシル基の一部がフルオロアルキル基により置換されているフルオロアルキル基置換アルコキシドとを含む被覆溶液を基材に塗布し、次いで焼成することからなる撥液膜の形成方法であって、前記被覆溶液を基材に塗布する前に前記フルオロアルキル基置換アルコキシドの重合を促進させておくことを特徴とする方法。
IPC (3件):
B32B 18/00
, C23C 18/12
, C23C 22/74
FI (3件):
B32B 18/00
, C23C 18/12
, C23C 22/74
引用特許:
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