特許

J-GLOBAL ID：200903032010281975

排ガスの処理方法

発明者： 新田 昭彦 ,  渡辺 忠治 ,  杉森 由章
出願人/特許権者： 日本酸素株式会社
代理人 (1件)： 木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-059458
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249143
出願日： 1997年03月13日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：

【要約】【課題】 シランと共にアルシン,ホスフィン,ジボラン等のシラン以外の揮発性無機水素化物を含む排ガスを効率よく安全に除害処理することができる排ガスの処理方法を提供する。【解決手段】 有害成分として、シランを含有するとともに、アルシン,ホスフィン,ジボラン等の揮発性無機水素化物の少なくとも一種を含む排ガスの除害処理方法であって、あらかじめシランを接触させてシランに対する除害能力を低下させた酸化第二銅を反応主成分とする除害剤に前記排ガスを接触させた後、該排ガスをバーナー火炎中に導入して燃焼処理を行う。

請求項（抜粋）：

有害成分として、シランを含有するとともに、アルシン,ホスフィン,ジボラン等の揮発性無機水素化物の少なくとも一種を含む排ガスの除害処理方法であって、あらかじめシランを接触させてシランに対する除害能力を低下させた酸化第二銅を反応主成分とする除害剤に前記排ガスを接触させた後、該排ガスをバーナー火炎中に導入して燃焼処理を行うことを特徴とする排ガスの処理方法。

IPC (3件)：

B01D 53/46 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01J 20/02

FI (3件)：

B01D 53/34 120 A ,  B01J 20/02 B ,  B01D 53/34 ZAB

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 排ガスの高度処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-018647   出願人：三井東圧化学株式会社
• 特開昭61-118117
  
• 特開昭63-087519
  
• 特開平2-126936