複合構造物形成装置および形成方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-071350
公開番号（公開出願番号）：特開2004-300572
出願日： 2004年03月12日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【課題】フィルム状の基材を用いる場合の複合構造物作製方法・装置において、構造物形成に伴う構造物の残留応力を原因とする複合構造物の変形を解消する。【解決手段】エアロゾルデポジション法によって複合構造物を形成させる工程において、フィルム状の基材の両面に同時あるいは順次に構造物形成を行う、また構造物形成とともに基材に引っ張り応力を与えて基材を伸展させるなどの操作を行うことにより、構造物の持つ残留応力による複合構造物の変形を解消する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

脆性材料微粒子をガスに分散させたエアロゾルを、板状あるいはフィルム状の基材の表面に向けてノズルより噴射して衝突させ、前記脆性材料微粒子の構成材料からなる脆性材料構造物を、前記基材上に形成させる複合構造物形成装置であって、前記基材を搬送する基材搬送装置を有し、前記基材を保持し搬送する複数の基材搬送保持具を有し、前記基材搬送装置により搬送される前記基材の両面のそれぞれに向いた状態で複数のノズルが前記基材搬送保持具と前記基材の表裏で対となって配置されることを特徴とする複合構造物形成装置。

IPC (2件)：

C23C24/04 , B05D1/12

FI (2件)：

C23C24/04 , B05D1/12

Fターム (20件)：

4D075AA06 , 4D075AA22 , 4D075AA35 , 4D075AE24 , 4D075BB05Z , 4D075CA01 , 4D075DA03 , 4D075DA06 , 4D075EA12 , 4K044AA01 , 4K044AA12 , 4K044AA13 , 4K044AA16 , 4K044AB02 , 4K044BA11 , 4K044BA12 , 4K044BB01 , 4K044BC14 , 4K044CA23 , 4K044CA67

引用特許：

出願人引用 (4件)

特許第3256741号
特許第3338422号
特許第3348154号

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審査官引用 (1件)

ガスデポジション成膜方法及びガスデポジション成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-144524 出願人：株式会社村田製作所

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