特許

J-GLOBAL ID：200903032025571775

ボート側ウェーハ位置検知方法及び装置

発明者： 吉田 久志 ,  保坂 英二 ,  示野 和弘 ,  池田 和人 ,  開発 秀樹
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-159366
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142553
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】 ボートへのウェーハの移載及びボートからのウェーハの移載のための位置調整時間を短縮し、かつボートとツィーザ又はウェーハとの接触を回避してボート又はウェーハの破損を防止し、ウェーハ移載を円滑に確実に行う。【構成】 移載機3を上昇,下降し、既に主制御部6に登録されているボート2の最上部,最下部など各部3枚のウェーハを移載機3に取付けたウェーハ位置検知センサ4により検知し、実測値と登録の値(ボート最上部,最下部のウェーハの距離、各部3枚のウェーハピッチ平均、基準位置のずれ)を比較し、許容範囲内のずれであれば主制御部6に登録することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ボート(2)の上,下部にそれぞれ3枚以上のウェーハ(1U,1D)を挿入載置しておき、この上,下部のウェーハ(1U,1D)を,移載機(3)を上下方向に移動させてこれに取付けられたウェーハ位置検知センサ(4)により検知すると共にセンサの移動をセンサ位置検出部(8)により検出し、ウェーハ位置検知信号とセンサ位置検出信号をウェーハ検出部(10)に入力し、主制御部(6)に予めパラメータとして設定した値に対し許容範囲にあるかどうか判定することを特徴とするボート側ウェーハ位置検知方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/22

引用特許：

審査官引用 (1件)

• キャリアステーション
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-320817   出願人：富士通株式会社, 富士通ヴィエルエスアイ株式会社