塗布装置及び塗布方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-014552
公開番号（公開出願番号）：特開平9-206647
出願日： 1996年01月30日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：

【要約】【課題】塗布剤の塗布量の認識に掛かる時間を短縮し、正確な塗布条件の補正を行うことができるようにする。【解決手段】塗布ノズル6が接着剤を塗布して、塗布量確認動作条件が成立すると、同一のノズル6についての全ての塗布条件について、接着剤が認識板16上に行われ、その後一括して認識カメラ8が各塗布点の塗布径の認識を行い、複数の塗布点の吐出時間及び塗布径のデータを基に各塗布条件についての設定径を得るための吐出時間が算出され、以後の塗布ではこの新しい吐出時間での塗布が行われる。

請求項（抜粋）：

種々の塗布量に夫々対応した塗布条件に基づきシリンジに貯溜された塗布剤をノズルを介して基板に塗布すると共に、前記塗布条件毎の塗布量を塗布量検出手段に検出させるために当該塗布条件で塗布剤を塗布する塗布装置において、同一のノズルが複数の塗布条件で連続して塗布剤を塗布した後に前記検出手段に検出可能な位置に塗布された塗布剤を相対的に移動させる相対移動手段を設けたことを特徴とする塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 5/00 , B05D 1/02 , H05K 3/34 504

FI (3件)：

B05C 5/00 Z , B05D 1/02 B , H05K 3/34 504 C

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平4-246886
接着剤塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-015039 出願人：株式会社東芝
接着剤塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-318844 出願人：株式会社東芝

審査官引用 (3件)

特開平4-246886
接着剤塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-015039 出願人：株式会社東芝
接着剤塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-318844 出願人：株式会社東芝

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