特許
J-GLOBAL ID：200903032052780599
光分布測定装置、及び測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-209597
公開番号（公開出願番号）：特開平10-056047
出願日： 1996年08月08日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：
【要約】【課題】 評価用の要素を作成するための製造工程が増加することなく、かつ、1枚のウエハから製造できる半導体レーザの個数が減少することがない光分布測定装置、及び測定方法を提供すること。【解決手段】 プリズム70と2次元アレイセンサ71とからなるプリズムセンサユニット7を用いてウエハ状態の半導体レーザダイオード2の光分布測定を行う。
請求項（抜粋）：
ウエハ上に形成された被測定素子から出力される光を受光し、該受光した光を所定方向に屈折させるプリズムと、複数の受光素子が縦横方向にそれぞれ配列され、上記プリズムで屈折された光を受ける2次元アレイセンサとからなるプリズムセンサユニットを備えたことを特徴とする光分布測定装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01J 1/00
, H01S 3/18
H01L 21/66 X
, H01L 21/66 B
, G01J 1/00 E
, H01S 3/18
