特許
J-GLOBAL ID：200903032063146956
マスフローコントロールシステム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-187067
公開番号（公開出願番号）：特開2000-018408
出願日： 1998年07月02日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：
【要約】【課題】 コストダウンされたマスフローコントローラシステムを提供すること。【解決手段】 弁体と弁座とセンサ部とを備える弁機構と、該センサ部の出力を得て該弁体の位置を変化させることにより流体の質量流量を制御する制御機構とから構成されるマスフローコントローラを使用するマスフローコントロールシステムであって、独立して存在する2以上のマスフローコントローラ15A、15B、15C、15Dと、2以上のマスフローコントローラ15A、15B、15C、15Dを制御する1つのコントローラ19を有する。
請求項（抜粋）：
弁体と弁座と流量センサ部とを備える弁機構と、該流量センサ部の出力を得て該弁体の位置を変化させることにより流体の質量流量を制御する制御機構とから構成されるマスフローコントローラを使用するマスフローコントロールシステムにおいて、独立して存在する2以上の前記弁機構部と、前記2以上の弁機構部を制御する1つの制御機構とを有することを特徴とするマスフローコントロールシステム。
IPC (2件)：
F16K 21/00
, F16K 31/06 330
F16K 21/00 C
, F16K 31/06 330
