特許
J-GLOBAL ID：200903032076355449

基板の製造方法

発明者：
樫本 登

樫本 登 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について

, 
東芝電子エンジニアリング株式会社

東芝電子エンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-180164
公開番号（公開出願番号）：特開2001-356328
出願日： 2000年06月15日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：
【要約】【課題】分割露光によって基板を製造する際に利用されるマスクを容易に設計できるとともに、分割領域の継ぎ目を視認し難くして品位良好な表示画面を表示することが可能な液晶表示装置に適用される基板の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】3箇所の隣接する分割領域A1、B1、Dの水平境界線22-1と垂直境界線21-4とがT字状に交差する場合、この交差部を形成する各分割領域の境界線のパターンは、水平境界線22-1と垂直境界線21-2とが十字状に交差する4箇所の隣接する分割領域A1、A2、B1、B2の交差部を形成する境界線のパターンと少なくとも一部が同一である。
請求項（抜粋）：
絶縁基板上に配置された導電体及び誘電体からなる少なくとも1層の薄膜をパターニングする際に、前記薄膜を水平方向に分割する水平境界線と垂直方向に分割する垂直境界線とで囲まれた複数の分割領域に分割して露光する基板の製造方法において、隣接する各分割領域間の境界線は、互いに噛み合うように非直線的に形成され、2箇所以上の隣接する分割領域の水平境界線と垂直境界線とがT字状またはL字状に交差する場合、この交差部を形成する各分割領域の境界線のパターンは、水平境界線と垂直境界線とが十字状に交差する4箇所の隣接する分割領域の交差部を形成する境界線のパターンと少なくとも一部が同一であることを特徴とする基板の製造方法。
IPC (2件)：
G02F 1/1333 500 ,  G03F 7/20 501
FI (2件)：
G02F 1/1333 500 ,  G03F 7/20 501
Fターム (5件)：
2H090JB02 ,  2H090LA01 ,  2H090LA15 ,  2H097AA11 ,  2H097LA12
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 液晶表示装置の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-061090   出願人：東芝電子エンジニアリング株式会社, 株式会社東芝
審査官引用 (1件)
  • 液晶表示装置の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-061090   出願人：東芝電子エンジニアリング株式会社, 株式会社東芝

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