位置合わせ方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：則近憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-230834
公開番号（公開出願番号）：特開平8-097114
出願日： 1994年09月27日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】検出したアライメントマークの一部に異常があった場合においても、アライメント精度がこの異常なデータに影響されないデータ処理を提案する。【構成】アライメント検出信号より得られたマーク位置データから決定したウエハ上の各チップの配列を最小二乗法で求め、アライメント検出信号より得られたマーク位置と求めたチップ配列上のマーク位置の残差から重みを調節し、最小二乗法を反復して再びチップ配列を求める。【効果】アライメント形状の異常などが原因となって大きなアライメント誤差が発生した場合においても、この異常なデータに影響されることなく位置合わせを行うことが可能となる。

請求項（抜粋）：

所望の位置に試料上の領域をアライメントする位置合わせ方法において、前記試料上のいくつかの領域のマーク位置を検出し、この検出されたマーク位置を求め、前記検出されたマーク位置から各チップの配列を最小二乗法によって求め、前記検出されたマーク位置と前記チップの配列によって求められるマーク位置との残差によって重みを調節し、最小二乗法を反復して再びチップ配列を求めることを特徴とする位置合わせ方法。

引用特許：

出願人引用 (6件)

位置合わせ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-019748 出願人：株式会社ニコン
特開平3-153015
特開平2-294015

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