特許

J-GLOBAL ID：200903032137010067

イオン源制御装置

発明者： 宮崎 修 ,  三上 隆司
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 藤田 龍太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-129579
公開番号（公開出願番号）：特開平8-306333
出願日： 1995年04月28日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】 イオン源をパルス運転し、イオンビームを電気的にオン,オフしてパルス照射する。【構成】 イオンビーム16を生成して放出するイオン源1の各種電源18,19,21,23が設けられた電源部17と、この電源部17の全部又は一部の電源の出力を自動制御によりオン,オフしてイオンビーム16をパルスビーム化する電源オンオフ手段とを備える。

請求項（抜粋）：

イオンビームを生成して放出するイオン源の各種電源が設けられた電源部と、前記電源部の全部又は一部の電源の出力を自動制御によりオン,オフし,前記イオンビームをパルスビーム化する電源オンオフ手段とを備えたことを特徴とするイオン源制御装置。

IPC (5件)：

H01J 37/30 ,  C23C 14/32 ,  C23C 14/48 ,  H01J 27/08 ,  H01J 37/08

FI (5件)：

H01J 37/30 A ,  C23C 14/32 A ,  C23C 14/48 Z ,  H01J 27/08 ,  H01J 37/08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• イオン注入装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-002694   出願人：日新電機株式会社
• イオン照射装置及びイオン照射方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-117064   出願人：富士通株式会社
• イオン源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-295038   出願人：日新電機株式会社