特許
J-GLOBAL ID:200903032165398968

超音波接合装置およびその制御方法、並びに超音波接合の接合検査装置およびその接合検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 八田 幹雄 ,  奈良 泰男 ,  宇谷 勝幸 ,  藤田 健 ,  都祭 正則 ,  長谷川 俊弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-332342
公開番号(公開出願番号):特開2008-142739
出願日: 2006年12月08日
公開日(公表日): 2008年06月26日
要約:
【課題】代用特性でなく、製品の接触抵抗を直接測定でき、この接触抵抗に基づいて短時間で精度高く接合状態を判定し、その判定結果を振動制御部へフィードバックすることができる超音波接合装置を提供する。【解決手段】超音波振動を与えるホーン30とアンビル20との間に2枚の被接合材を挟んで加圧し、被接合材の接触面に平行に超音波振動を加えて固相接合する超音波接合装置1であって、振動制御部70と接合検査部80とを有する制御装置60を備え、接合検査部80は、ホーン30とアンビル20間に電圧を印加する電圧印加部82と、ホーン30とアンビル20間の印加電圧を測定する電圧計83と、ホーン30とアンビル20間に流れる電流を測定する電流計84と、電圧計83および電流計84の各測定値から接触抵抗を算出して接合状態を判定する電気抵抗測定回路81と、を備えている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
超音波振動を与えるホーンとアンビルとの間に2枚の被接合材を挟んで加圧し、これらの被接合材の接触面に平行に超音波振動を加えて固相接合する超音波接合装置において、 振動制御部と接合検査部とを有する制御装置を備え、 前記接合検査部は、 前記ホーンとアンビル間に電圧を印加する電圧印加部と、 前記ホーンとアンビル間の印加電圧を測定する電圧計と、 前記ホーンとアンビル間に流れる電流を測定する電流計と、 前記電圧計および電流計の各測定値から接触抵抗を算出して接合状態を判定する電気抵抗測定回路と、 を備えていることを特徴とする超音波接合装置。
IPC (2件):
B23K 20/10 ,  G01N 27/04
FI (2件):
B23K20/10 ,  G01N27/04 Z
Fターム (24件):
2G060AA09 ,  2G060AA10 ,  2G060AE01 ,  2G060AF02 ,  2G060AF07 ,  2G060AG11 ,  2G060EA07 ,  2G060EB04 ,  2G060EB07 ,  2G060GA01 ,  2G060HA01 ,  2G060HC07 ,  2G060HC10 ,  2G060HC15 ,  2G060HC18 ,  2G060HD03 ,  2G060HE01 ,  2G060KA11 ,  2G060KA15 ,  4E067AA05 ,  4E067AA07 ,  4E067AA26 ,  4E067BF00 ,  4E067CA05
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 超音波接合方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-247834   出願人:トヨタ自動車株式会社

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