特許
J-GLOBAL ID：200903032171160914

機械電気変換素子及びその製造方法

発明者：
蔭山 健介

蔭山 健介 について


出願人/特許権者：
国立大学法人埼玉大学

国立大学法人埼玉大学 について


代理人 (2件)： 三好 秀和 ,  鈴木 壯兵衞
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-124251
公開番号（公開出願番号）：特開2007-298297
出願日： 2006年04月27日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：
【課題】 製造コストが低く、耐熱性が高く、小型化が容易で、且つ動作の安定性の高い機械電気変換素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 平坦な振動面を有する導電体からなる振動子(振動板)14と、振動子(振動板)14の振動面に対向した平坦な第1主面及びこの第1主面に平行に対向する第2主面で定義され、分極方向を揃えた誘電分極板13と、誘電分極板13の第2主面に接合された背面電極12と、振動子(振動板)14と背面電極12間に振動面の変位に伴い誘導される電荷を測定する誘導電荷測定手段(21,9)とを備えるマイクロフォンカプセルである。ここで、誘導電荷測定手段(21,9)は、背面電極12に接続された増幅器(FET)21と、増幅器(FET)21に接続された出力回路9を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
平坦な振動面を有する導電体からなる振動子と、 前記振動面に対向した平坦な第1主面及び該第1主面に平行に対向する第2主面で定義される強誘電体からなる誘電分極板と、 前記第2主面に接合された背面電極と、 前記振動面の変位に伴い、前記誘電分極板に誘導される電荷を測定する誘導電荷測定手段 とを備えることを特徴とする機械電気変換素子。
IPC (4件)：
G01H 11/06 ,  H04R 19/01 ,  H04R 19/04 ,  H01G 7/02
FI (4件)：
G01H11/06 ,  H04R19/01 ,  H04R19/04 ,  H01G7/02 A
Fターム (8件)：
2G064AB01 ,  2G064AB02 ,  2G064BA07 ,  2G064BA08 ,  2G064BD05 ,  5D021CC03 ,  5D021CC08 ,  5D021CC20
引用特許：
審査官引用 (3件)

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