特許
J-GLOBAL ID：200903032208444640
外観検査装置、外観検査方法、コンピュータを外観検査装置として機能させるためのプログラムおよび記録媒体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-115738
公開番号（公開出願番号）：特開2006-292615
出願日： 2005年04月13日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：
【課題】 要求される精度に応じた欠陥の検出が可能な外観検査装置を提供する。【解決手段】 外観検査装置が実行する処理は、要求精度および画像の入力を受けるステップ(S402)と、欠陥候補と特徴量とを抽出するステップ(S404,S406)と、特徴量を表示するステップ(S408)と、ラベル付け情報の入力を受けるステップ(S410)と、母集団分布の推定処理を実行するステップ(S412)と、母集団同士の重なり度合いを算出するステップ(S414)と、欠陥情報を読み出すステップ(S416)と、精度を算出するステップ(S418)と、入力された画像が要求精度を満たす場合に(S420にてYES)学習を開始するステップと、当該画像が要求制度を満たさない場合に(S420にてNO)学習情報を算出するステップ(S422)とを含む。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
外部からデータの入力を受ける入力手段を備え、前記データは、検査物の撮像により取得される画像データと、前記検査対象物の画像の特徴として前記画像データに基づいて表わされる特徴量を評価するために要求される要求精度とを含み、
入力された画像データに対して予め定められた画像処理を実行することにより、前記検査対象物における欠陥の候補を特定するための欠陥候補データを抽出する抽出手段と、
前記欠陥候補データに基づいて、前記欠陥の候補の特徴量を算出する特徴量算出手段と、
前記特徴量を表示する表示手段とを備え、
前記入力手段はさらに、前記特徴量に応じて前記欠陥の候補を分類するためのラベル付けが行なわれたデータの入力を受け、前記ラベル付けが行なわれたデータは、前記欠陥の候補を真の欠陥と擬似的な欠陥のいずれかとして分類するためのデータを含み、前記擬似的な欠陥は、前記真の欠陥でない欠陥の候補が欠陥として分類されるものであり、
前記ラベル付け入力に基づいて、前記欠陥の候補の分布の重なり度合いを算出する算出手段と、
前記擬似的な欠陥の個数と、前記真の欠陥の個数と、前記分布の重なり度合いとに基づいて、前記特徴量の分布を評価するための精度を算出する精度算出手段と、
前記要求精度と前記算出された精度とに基づいて、画像データの学習を実行する否かを判断する判断手段と、
前記判断手段による判断の結果を出力する出力手段とを備える、外観検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956
, G01B 11/30
, H01L 21/66
G01N21/956 A
, G01B11/30 A
, H01L21/66 J
2F065AA49
, 2F065BB02
, 2F065CC17
, 2F065CC19
, 2F065DD06
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065FF41
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065QQ23
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ41
, 2F065QQ42
, 2F065QQ43
, 2F065SS03
, 2F065SS13
, 2G051AA51
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051AC11
, 2G051BB01
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051DA07
, 2G051EA14
, 2G051EA21
, 2G051EB05
, 2G051EC01
, 2G051EC02
, 2G051EC03
, 2G051ED08
, 2G051ED21
, 4M106CA38
, 4M106DB04
, 4M106DJ11
, 4M106DJ20
, 4M106DJ38
