カンチレバー変位検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-052615
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256641
出願日： 1992年03月11日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】【目的】光学顕微鏡を組み込んだ原子間力顕微鏡に設ける光テコ法による高感度かつ小型なカンチレバー変位検出装置を提供する。【構成】カンチレバー変位検出装置は、光テコ法の検出光であるレーザービームを射出するレーザーダイオード14と、受光強度に応じた信号を出力する二つの受光領域20aと20bを備えている二分割受光器20とを有している。レーザーダイオード14と二分割受光器20は、レーザービームが観察光学系の対物レンズ12を介してカンチレバー16の自由端部に設けたミラーに斜めに入射し、ミラーで反射されたレーザービームが対物レンズ12を介して二分割受光器20に入射するように配置されている。

請求項（抜粋）：

観察光学系を備えている原子間力顕微鏡のカンチレバー変位検出装置であって、光ビームを射出する光源と、受ける光の強度に応じた信号を出力する二つの受光領域を備えている二分割受光器とを有し、この光源と二分割受光器は、光ビームが観察光学系の対物レンズを介してカンチレバーの自由端部に設けたミラーに斜めに入射し、その反射ビームが対物レンズを介して二分割受光器に入射するように配置されているカンチレバー変位検出装置。

IPC (3件)：

G01B 21/30 , G01B 11/30 , H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平3-071001
複合型顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-199465 出願人：株式会社ニコン

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