特許

J-GLOBAL ID：200903032238927433

基板搬送装置

発明者： 嶋治 克己
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-083299
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297154
出願日： 1994年04月21日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】 簡単な構成で、しかも未処理基板による悪影響を処理済基板に与えないで、処理部への基板搬入および搬出を良好に行うことができる基板搬送装置を提供する。【構成】 ハンド38の上面38S側に保持部材71A,71Bが設けられ、基板Wを洗浄処理部に搬入する場合には、保持部材71Aが基板保持位置に位置して基板Wを保持するとともに、他方の保持部材71Bが退避位置に位置して当該基板Wと接触を防止して、保持部材71Bの汚染を防止する。また、基板Wを洗浄処理部から搬出する場合には、保持部材71Bが基板保持位置に位置して基板Wを保持するとともに、他方の保持部材71Aが退避位置に位置して当該基板Wと非接触の状態となる。そのため、未洗浄基板の搬入動作によって保持部材71Aが汚れたとしても、洗浄処理部からの洗浄済基板の搬出を保持部材71Bによって行い、保持部材71Aの接触を防止しているため、洗浄済基板の汚染を防止することができる。

請求項（抜粋）：

基板に所定の処理を施す処理部に基板を搬入するとともに、前記処理部から基板を搬出する基板搬送装置であって、前記処理部に対して進退移動自在なハンドと、前記ハンドを駆動して前記ハンドを前記処理部に対して進退移動させる駆動手段と、前記ハンドの上方の基板保持位置と、当該基板保持位置に対し下方側の退避位置との間を往復自在で、少なくとも一方が前記基板保持位置に移動することで基板を保持する第1および第2基板保持手段と、基板の搬入および搬出動作に応じて、前記第1および第2基板保持手段のうちの一方を前記基板保持位置まで移動させるとともに、他方を前記退避位置に移動させる切換手段と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  B08B 11/04 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ウエハ移載装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-166480   出願人：ソニー株式会社
• 特開平4-142054