基板搬送装置及びそれを用いた基板処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中西次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-087080
公開番号（公開出願番号）：特開2002-288888
出願日： 2001年03月26日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
要約：

【要約】【課題】本発明は、加熱処理に起因するアーム位置と基板ホルダ位置とのずれを防止し、2つ又はそれ以上のロボットアームを用いて複数の基板を同時に装着可能な基板搬送装置を提供することを目的とする。【解決手段】ディスク状基板が挿入される円形の開口を有し、該開口の周辺に前記基板の外周端面を把持する複数のバネ部材が取り付けられた板状の基板ホルダと、2つの該基板ホルダをホルダ面が同一面となるように取り付けるスライダ部材とからなる基板搬送装置であって、前記スライダ部材に前記基板ホルダの下部が挿入可能な溝を2つ所定の間隔を開けて形成し、各々の溝の内部であって前記スライダ部材の中心側の端部に可動部材を配置するとともに、該可動部材を前記スライダ部材の端部側に付勢する弾性体を配置し、前記基板ホルダの側端面を前記スライダ部材の端部側に押しつけて固定する構成としたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ディスク状基板が挿入される円形の開口を有し、該開口の周辺に前記基板の外周端面を把持する複数のバネ部材が取り付けられた板状の基板ホルダと、2つの該基板ホルダをホルダ面が同一面となるように取り付けるスライダ部材と、からなる基板搬送装置であって、前記スライダ部材に前記基板ホルダの下部が挿入可能な溝を2つ所定の間隔を開けて形成し、各々の溝の内部であって前記スライダ部材の中心側の端部に可動部材を配置するとともに、該可動部材を前記スライダ部材の端部側に付勢する弾性体を配置し、前記基板ホルダの側端面を前記スライダ部材の端部側に押しつけて固定する構成としたことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (9件)：

G11B 7/26 , B65G 49/05 , C23C 14/50 , C23C 14/56 , C23C 16/44 , C23C 16/458 , G11B 5/85 , G11B 5/851 , H01L 21/68

FI (10件)：

G11B 7/26 , B65G 49/05 , C23C 14/50 B , C23C 14/50 K , C23C 14/56 B , C23C 16/44 F , C23C 16/458 , G11B 5/85 Z , G11B 5/851 , H01L 21/68 A

Fターム (34件)：

4K029AA02 , 4K029AA24 , 4K029BB02 , 4K029BC06 , 4K029BD11 , 4K029CA05 , 4K029JA01 , 4K029JA06 , 4K029KA02 , 4K030CA02 , 4K030CA17 , 4K030GA02 , 4K030GA12 , 4K030HA01 , 4K030KA45 , 4K030LA20 , 5D112AA24 , 5D112FA04 , 5D112FA10 , 5D112FB25 , 5D121AA02 , 5D121JJ01 , 5D121JJ03 , 5D121JJ04 , 5D121JJ09 , 5F031CA01 , 5F031FA02 , 5F031FA09 , 5F031GA10 , 5F031GA13 , 5F031GA14 , 5F031GA15 , 5F031GA50 , 5F031MA28

引用特許：

出願人引用 (2件)

成膜装置における基板保持具の表面の堆積膜の除去方法及び成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-084855 出願人：アネルバ株式会社
特開平4-277616

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