2つの対象物の位置を検出するための装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：江崎光史 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-514099
公開番号（公開出願番号）：特表2001-518606
出願日： 1998年09月24日
公開日（公表日）： 2001年10月16日
要約：

【要約】第1に二次元並進基本運動の際の2つの対象物の相対運動の6つの成分の検出のための装置は、距離検出のために複数(3つ)の垂直に配設された装置(10〜12;例えば走査体)を備え、二次元の光学格子を備えたプレート(2)と、2つ又は3つの光学格子(6〜8)の配列とこれに対して平行な平らな面(9)とから成る要素(1)とから成る。第1のプレート(2)は、一方の対象物に固定されている。第2の要素(1)は、第2の対象物と共に、光学格子が反射する光の強度変動の評価を介して下方のプレートに対して平行なX方向及びY方向における相対移動を可能にするように第1対象物に接近して位置する。3つの光学格子のうち2つが互いに平行である光学格子が評価のために使用される場合、水平の相対運動と下方のプレート面に対して垂直の相対回転(Z軸のまわりのC-回転)が検出される。これと同時に垂直に配設された距離検出装置は、3つの個所で両装置の間の距離を検出する。これらの、例えば走査体の変位から両対象物の相対運動の他の成分であるZ軸上の距離/運動、X軸及びY軸のまわりの位置/回転が、XY平面内の上記の相対移動及び回転と同時に検出される。走査体(10〜12)は、上方の対象物(2)に取り付けられることもできる。

請求項（抜粋）：

対象物に配設されているクロス線状格子を備えた、相対的に運動可能な2つの対象物の位置の検出及び又は調整のための装置において、一方の対象物(2)に、二次元格子目盛(3a、3b)を備えた平らな偏平なスタンダードが、平らな基準面(4)として配設されており、並びに他方の対象物(1)には、スタンダードに対して平行な平らな面内に又は該面に対して平行に設けられた、読み取りヘッドを形成する少なくとも2つの格子(6、7、8)を備えた、スタンダードに対して平行に整列可能な平らな面(9)が配設されており、そして更に、両面(4、9)の個別の距離検出のために前記両対象物面の間に作用する少なくとも1つの装置(10、11、12)が設けられていることを特徴とする前記装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01D 5/36

FI (2件)：

G01B 11/00 A , G01D 5/36 S

Fターム (19件)：

2F065AA04 , 2F065AA07 , 2F065AA09 , 2F065AA14 , 2F065AA37 , 2F065BB02 , 2F065CC19 , 2F065FF16 , 2F065FF17 , 2F065FF18 , 2F065MM02 , 2F065PP12 , 2F065UU04 , 2F065UU07 , 2F103CA02 , 2F103DA01 , 2F103DA12 , 2F103DA13 , 2F103EA15

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平2-300630
特開平2-167416
リニアモーターその他の光学繊維エンコーダー
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-131465 出願人：メガメーション・インコーポレーテッド

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審査官引用 (8件)

特開平2-300630
特開平2-300630
特開平2-167416

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