特許
J-GLOBAL ID：200903032277149006

単結晶引き上げ装置用保温筒及び単結晶引き上げ装置

発明者：
高木 俊

高木 俊 について


出願人/特許権者：
イビデン株式会社

イビデン株式会社 について


代理人 (1件)： 廣江 武典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-127108
公開番号（公開出願番号）：特開2000-319090
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：
【要約】【課題】 単結晶引き上げ装置における保温筒のコストダウンを図り、より長寿命であって交換作業も容易なものとすること。【解決手段】 単結晶引き上げ装置100内のルツボ10を加熱するヒータ20とこのヒータ20からの熱が外部へ移動しないようにするための断熱材40との間に配置されて、当該単結晶引き上げ装置100内の保温を行う保温筒30であって、この筒壁内は径方向に厚み2.0mm〜0.1mmの炭素材料からなり、その表面の一部又は全部に熱分解炭素からなる被膜を形成したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
単結晶引き上げ装置内のルツボを加熱するヒータとこのヒータからの熱が外部へ移動しないようにするための断熱材との間に配置されて、当該単結晶引き上げ装置内の保温を行う保温筒であって、この筒壁内は径方向に厚み2.0mm〜0.1mmの炭素材料からなり、その表面の一部又は全部に熱分解炭素からなる被膜を形成したことを特徴とする単結晶引き上げ装置用保温筒。
IPC (2件)：
C30B 15/14 ,  C30B 29/06 502
FI (2件)：
C30B 15/14 ,  C30B 29/06 502 C
Fターム (6件)：
4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG18 ,  4G077EG19 ,  4G077EG25
引用特許：
審査官引用 (4件)
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