薄膜形成方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八田国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-015566
公開番号（公開出願番号）：特開2009-215644
出願日： 2009年01月27日
公開日（公表日）： 2009年09月24日
要約：

【課題】複数層を同時に形成できる簡便な薄膜形成方法を提供する。【解決手段】第1放出領域に第1蒸着物質を蒸着する第1蒸着源22と、第2放出領域に第1蒸着物質とは異なる第2蒸着物質を蒸着する第2蒸着源23とを準備する段階と、前記第1放出領域と第2放出領域とが互いに重畳する第1重畳領域が設定されるように、第1蒸着源22と第2蒸着源23とを調整する段階と、前記第1蒸着源22と第2蒸着源23とを稼動し、前記第1蒸着物質および第2蒸着物質を被処理体の一部に蒸着する段階と、前記被処理体の一端を、第1放出領域から第1重畳領域を差し引いた第1蒸着領域、第1重畳領域、および第2放出領域から第1重畳領域を差し引いた第2蒸着領域がこの順に通過するように、前記第1蒸着源22および第2蒸着源23を被処理体の一端から他端まで移動させる段階と、を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1放出領域に第1蒸着物質を蒸着する第1蒸着源と、第2放出領域に第1蒸着物質とは異なる第2蒸着物質を蒸着する第2蒸着源とを準備する段階と、前記第1放出領域と第2放出領域とが互いに重畳する第1重畳領域が設定されるように、第1蒸着源と第2蒸着源とを調整する段階と、前記第1蒸着源と第2蒸着源とを稼動し、前記第1蒸着物質および第2蒸着物質を被処理体の一部に蒸着する段階と、前記被処理体の一端を、第1放出領域から第1重畳領域を差し引いた第1蒸着領域、第1重畳領域、および第2放出領域から第1重畳領域を差し引いた第2蒸着領域がこの順に通過するように、前記第1蒸着源および第2蒸着源を被処理体の一端から他端まで移動させる段階と、を含むことを特徴とする薄膜形成方法。

IPC (3件)：

C23C 14/24 , H05B 33/10 , H01L 51/50

FI (3件)：

C23C14/24 S , H05B33/10 , H05B33/14 A

Fターム (10件)：

3K107AA01 , 3K107CC45 , 3K107DD53 , 3K107GG04 , 3K107GG28 , 3K107GG32 , 4K029BB02 , 4K029CA01 , 4K029DB14 , 4K029KA01

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭51-033779
有機薄膜形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-274734 出願人：株式会社アルバック

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