特許

J-GLOBAL ID：200903071957748198

有機薄膜形成方法

発明者： 根岸 敏夫
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (2件)： 石島 茂男 ,  阿部 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-274734
公開番号（公開出願番号）：特開2004-111305
出願日： 2002年09月20日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】有機薄膜を効率よく積層させる。【解決手段】第1の蒸着源63から蒸気を放出させながら第2の蒸着源64方向に移動させ、成膜対象物21上に薄い第1の有機薄膜を形成した後、蒸気を放出させながら第1の蒸着源63を元の位置に戻す際に、第2の蒸着源64を一緒に移動させる。先行する第1の蒸着源63によって積層された第1の有機薄膜が形成され、後続する第2の蒸着源64により、第1の有機薄膜表面に第2の有機薄膜が形成される。第2の蒸着源64が成膜対象物21の直下位置を通過した後、蒸気を放出させながら元の位置に戻すと、第2の有機薄膜も積層される。第1、第2の有機薄膜が連続して形成されるので、界面の状態がよく、また、成膜効率も高い。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

真空槽内に板状の成膜対象物と第1、第2の蒸着源とを配置し、 前記第1、第2の蒸着源からそれぞれ第1、第2の蒸気を放出させ、前記第1、第2の蒸着源を、それぞれ前記成膜対象物に対して往復移動させ、前記第1の蒸気によって前記成膜対象物表面に第1の有機薄膜を形成し、前記第2の蒸気によって前記第1の有機薄膜表面に第2の有機薄膜を形成する積層型有機薄膜の製造方法であって、 前記第1の蒸着源が往動した後、復動する際に、前記第2の蒸着源を前記第1の蒸着源に随伴移動させる積層型有機薄膜の製造方法。

IPC (4件)：

H05B33/10 ,  C23C14/06 ,  C23C14/24 ,  H05B33/14

FI (4件)：

H05B33/10 ,  C23C14/06 Q ,  C23C14/24 C ,  H05B33/14 A

Fターム (13件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB14 ,  4K029DB23

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 蒸着方法及び表示装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-086790   出願人：三洋電機株式会社
• 特開平4-116169
  
• 特開平4-116169
  
• 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-059540   出願人：三洋電機株式会社