位相差測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-039586
公開番号（公開出願番号）：特開平7-248261
出願日： 1994年03月10日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】本発明は、高精度な位相差測定を行う。【構成】直線偏光を2つの直線偏光に分離して被測定物(6) に透過させ際、これら2つの偏光成分をノマルスキープリズム(4) により、被測定物(6) の干渉像を観察するCCDカメラ(8) のエアリーディスク以上のシアリング量に分離する。この後、被測定物(6) を透過した2つの直線偏光を重ね合わせて干渉させた被測定物(6) の干渉像を観察し、かつ2つの直線偏光間の位相を変化させたときの被測定物(6) の干渉像に基づいて位相差を測定する。

請求項（抜粋）：

特定の方向に偏光した光を所定角度の各偏光成分に分離して被測定物を透過させ、この透過後の各偏光成分を重ね合わせて干渉させた前記被測定物の干渉像を観察し、かつ前記各偏光成分間の位相を変化させたときの前記各被測定物の干渉像に基づいて位相差を測定する位相差測定装置において、前記被測定物の像を観察する光学的エアリーディスク径以上の間隔に設定され、前記各偏光成分をそれぞれ前記被測定物のシアリング方向に分離する分離光学系を配置したことを特徴とする位相差測定装置。

IPC (3件)：

G01J 9/02 , G01B 1/00 , G01B 9/02

引用特許：

出願人引用 (5件)

干渉顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-031062 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平4-151662
性状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-316399 出願人：株式会社東芝

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審査官引用 (5件)

干渉顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-031062 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平4-151662
性状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-316399 出願人：株式会社東芝

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