特許

J-GLOBAL ID：200903032356966052

黒色AlN系セラミックス及びその製造方法

発明者： 遠藤 英宏 ,  向井 俊夫
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-251392
公開番号（公開出願番号）：特開平10-095673
出願日： 1996年09月24日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、AlN系セラミックスの色ムラを解消し、耐食性と機械的特性を改善させた、黒色を呈する高純度AlN系セラミックスを提供するものである。【解決手段】 本発明の黒色AlN系セラミックスは、0.1〜30重量%の酸化アルミニウムと残部が実質的に窒化アルミニウムより成る混合粉体を成形・焼結し、焼結中に酸化アルミニウムと窒化アルミニウムとの反応により生じるAlON相を含有する。また、この黒色AlN系セラミックスは、0.1〜30重量%の酸化アルミニウムと残部が実質的に窒化アルミニウムより成る混合粉体を成形した後、1600〜1900°Cの温度で加圧焼結することにより製造する。

請求項（抜粋）：

0.1〜30重量%の酸化アルミニウムと残部が実質的に窒化アルミニウムより成る混合粉体を成形・焼結し、焼結中に酸化アルミニウムと窒化アルミニウムとの反応により生じるAlON相を含有し、実質AlNとAlONの2相とから成り、密度が理論値の90%以上で黒色を呈することを特徴とするAlN系セラミックス。

IPC (2件)：

C04B 35/581 ,  C04B 35/645

FI (3件)：

C04B 35/58 104 A ,  C04B 35/58 104 V ,  C04B 35/64 N

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 窒化アルミニウムおよび半導体製造用装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-218257   出願人：日本碍子株式会社