特許

J-GLOBAL ID：200903032407788464

平面形状の測定装置

発明者： 竹村 文宏 ,  大島 泰毅 ,  寺内 宏之 ,  神足 勝昭 ,  真島 志郎
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 木下 茂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-349823
公開番号（公開出願番号）：特開平8-054203
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：

【要約】【目的】 本発明では、ワ-クの自重によるたわみ変形の影響を受けることなく、極めて正確に測定することができ、かつ比較的安価な測定装置を提供することを目的とするものである。【構成】 本発明にかかる平面形状の測定装置は、被測定物の平面形状を測定するセンサ-と、前記被測定物を垂直面に沿って起立させると共に、被測定物の周囲数点を支持固定する手段と、前記測定センサを前記被測定物の平面に対して平行に移動させる移動手段と備えたこと特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

被測定物の平面形状を測定するセンサ-と、前記被測定物を垂直面に沿って起立させると共に、被測定物の周囲数点を支持固定する手段と、前記測定センサを前記被測定物の平面に対して平行に移動させる移動手段と備えたことを特徴とする平面形状の測定装置。

IPC (2件)：

G01B 5/28 ,  G01B 21/30 101

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-355315
  
• 平面度測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-272054   出願人：株式会社オハラ