特許
J-GLOBAL ID：200903032436602515

内面反射型の光学素子及びその製造方法

発明者：
塚本 征徳

塚本 征徳 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-356939
公開番号（公開出願番号）：特開2000-171622
出願日： 1998年12月01日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：
【要約】【課題】 可視光域で平坦な反射分光特性を有する製造が容易な内面反射型の光学素子及びその製造方法を得ること。【解決手段】 基体の表面に成膜されたアンダーコートと、前記アンダーコートの上に成膜された金属の反射膜と、前記反射膜の上に成膜されたオーバーコートを有する内面反射型の光学素子であって、前記アンダーコートは誘電体多層膜から成り、各層の膜厚が50〜100nmの範囲から成ること。
請求項（抜粋）：
基体の表面に成膜されたアンダーコートと、前記アンダーコートの上に成膜された金属の反射膜と、前記反射膜の上に成膜されたオーバーコートを有する内面反射型の光学素子であって、前記アンダーコートは誘電体多層膜から成り、各層の膜厚が50〜100nmの範囲から成ることを特徴とする内面反射型の光学素子。
Fターム (6件)：
2H042DA02 ,  2H042DA11 ,  2H042DA15 ,  2H042DA18 ,  2H042DC02 ,  2H042DE00
引用特許：
審査官引用 (4件)
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