合成樹脂製反射鏡、その製造方法および製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：有我軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-114179
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304614
出願日： 1995年05月12日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】本発明は、合成樹脂基体上にアンダーコート層を介して金属反射膜を形成した合成樹脂製反射鏡と、その製造方法および製造装置に関し、アンダーコート層に酸素化合割合が傾斜組成構造を有するシリコン酸化膜を活性化反応性蒸着法により生成することにより高品質かつ大量生産に適した技術を提供することを目的とする。【構成】合成樹脂基体1の一面に真空蒸着されたシリコン薄膜層5と、その薄膜上に活性化反応性蒸着され、酸素の化合割合を徐々に増加させた傾斜組成構造を有するシリコン酸化物薄膜層6と、その酸化物薄膜層上に活性化反応性蒸着されたアルミニウムの反射層7と、その反射層上に活性化反応性蒸着された酸化物保護膜層8と、を備えている。

請求項（抜粋）：

所望の形状に加工した合成樹脂製光学部材の一面に形成されたシリコン薄膜層と、該シリコン薄膜層上に形成され、酸素の化合割合を徐々に増加させた傾斜組成構造を有するシリコン酸化物薄膜層と、該シリコン酸化物層上に形成された金属反射層と、該金属反射層上に形成された酸化物保護膜層と、を備えたことを特徴とする合成樹脂製反射鏡。

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平2-287302
特開平4-260004
特開平4-240802

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