センサを有する3成分圧電振動加速度計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：熊倉禎男 , 大塚文昭 , 今城俊夫 , 西島孝喜
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-557006
公開番号（公開出願番号）：特表2006-508360
出願日： 2003年01月15日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：

本発明のデバイスは、圧電素子を備え、基板に固定された正方形ベースの矩形平行六面体の形に具現化される。ピエゾモジュールマトリックスは、与えられた形状に具現化される。導電性層は、導電性接着剤でできている。前記矩形平行六面体の縁部は、前記導電性層がなく、導電性層は各側面上の長方形の形で具現化される。各側面において、側面の導電性長方形の角度ポイントの1つの領域に位置する1つのポイントで、電荷がピックアップされる。基板は導電性があるようにされる。正方形ベースは、導電性接着剤の手段で基板に固定され、この接着剤は導電性層にも使用される。

請求項（抜粋）：

1つの感応要素を有する3成分圧電振動加速度計であって、正方形ベースを有する矩形平行六面体の形に作られた圧電セルと、前記矩形平行六面体の前記正方形ベースが固定される基板と、前記矩形平行六面体の面上に位置する導電性層とを備え、前記矩形平行六面体の縁部は、前記導電性層がなく、前記矩形平行六面体の各面は、他の面から電気的に絶縁されていて、各面上の前記導電性層は長方形の形に作られ、その対向する側部は、各々その面の対向する縁に平行であり、前記圧電セルの極軸は、前記圧電セルを前記基板に固定する面に垂直であり、前記矩形平行六面体の高さhと、前記正方形ベースの側部の長さbの間の関係は、0.3<h/b<1.2から選択され、圧電セルモジュールのマトリックスは次のように選択され、 | 0 0 0 0 d15 0 | | 0 0 0 d24 0 0 | | d31 d32 d33 0 0 0 | ここに、dij ピエゾモジュール(c/n) i 圧電界指数 j 変形指数前記導電性層は、硬化された導電性接着剤で出来ていて、この接着剤はまた前記矩形平行六面体の前記正方形ベースを誘電体で出来た前記基板に固定するのに使用され、側面の各々について、前記圧電セルの電荷のピックアップは、前記側面の前記導電性層の頂点の領域に位置する1つのポイントで行われることを特徴とする振動加速度計。

IPC (3件)：

G01H 11/08 , G01P 15/09 , G01P 15/18

FI (4件)：

G01H11/08 Z , G01H11/08 C , G01P15/09 Z , G01P15/00 K

Fターム (8件)：

2G064AB01 , 2G064AB02 , 2G064BA02 , 2G064BA07 , 2G064BA08 , 2G064BD18 , 2G064BD60 , 2G064BD67

引用特許：

審査官引用 (7件)

超音波センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-202711 出願人：株式会社村田製作所
剪断型圧電型振動センサおよびその製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-145138 出願人：株式会社フジクラ
特開平2-080965

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