複合酸化物薄膜およびその製造法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-169398
公開番号（公開出願番号）：特開平11-076836
出願日： 1998年06月17日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：

【要約】【課題】 TiO2やZrO2等の単体で観察される吸収端波長とは異なる波長で強い吸収を示し、殺菌灯(波長254nm)の照射によって光触媒活性を示す複合酸化物薄膜およびその製造法を提供する。【解決手段】酸化チタンおよび禁制帯幅3.2eV以上の酸化チタン以外の金属酸化物からなる複合酸化物薄膜。かかる複合酸化物薄膜は、有機チタン化合物および酸化物が3.2eV以上の禁制帯幅を有するチタン以外の金属の有機金属化合物の混合物有機溶媒溶液に無機酸または有機酸を添加してチタンおよび他の金属を含有する加水分解ゾルを形成させ、このゾルを基板上に塗布してゲル膜を形成させた後、約300〜1200°Cの温度で加熱処理することによって製造される。

請求項（抜粋）：