特許
J-GLOBAL ID：200903032476754253
半導体処理用ロードロック装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-041011
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233583
出願日： 1998年02月09日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】生産性が高く装置スペースの小さいロードロック装置を与える。【解決手段】処理室22へ被処理体38を順次搬送する搬送機構24と協働するべく被処理体を積載して待機するロードロック装置20が与えられる。ロードロック装置は,チャンバ手段25と,複数の被処理体を装填し,チャンバ内を上下に移動可能な保持手段31と,保持手段の側面に設けられ,チャンバの内壁の一部と係合することで,チャンバの内部空間を隔絶された2つの部屋に分離するフランジ手段30と,から成る。搬送機構はチャンバ手段の側面の略中央部に接続され,フランジ手段は保持手段の側面の実質的に中央に結合されている。フランジ手段はシール手段37を有し,チャンバの前記内壁の一部と係合することによって,完全にシールされる。
請求項（抜粋）：
処理室へ被処理体を順次搬送する搬送機構と協働するべく該被処理体を積載して待機するロードロック装置であって,チャンバ手段と,複数の前記被処理体を装填するための保持手段であって,前記チャンバ内を上下に移動可能な保持手段と,前記保持手段の側面に設けられたフランジ手段であって,前記チャンバの内壁の一部と係合することで,前記チャンバの内部空間を隔絶された2つの部屋に分離するところのフランジ手段と,から成る装置。
引用特許：
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