特許
J-GLOBAL ID：200903032479035940

真空アーク蒸発源

発明者：
藤井 博文

藤井 博文 について


出願人/特許権者：
株式会社神戸製鋼所

株式会社神戸製鋼所 について


代理人 (1件)： 安田 敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-251090
公開番号（公開出願番号）：特開2008-031557
出願日： 2007年09月27日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：
【課題】大電流放電を行ってアークを安定して蒸発面上所定のエリアに閉じ込め制御可能とする真空アーク蒸発源を提供する。【解決手段】 柱状蒸発物質の蒸発面を含む領域に磁界を形成して放電する真空アーク蒸発源であって、柱状蒸発物質の蒸発面における柱状蒸発物質の軸方向に伸びる略長円状の放電電圧の低い放電領域にアークスポットを閉じ込めるように、磁力線の角度を設定する磁場発生源と、200A以上のアーク電流値を設定するアーク電源とを備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
柱状蒸発物質の蒸発面を含む領域に磁界を形成して放電する真空アーク蒸発源であって、 柱状蒸発物質の蒸発面における柱状蒸発物質の軸方向に伸びる略長円状の放電電圧の低い放電領域にアークスポットを閉じ込めるように、磁力線の角度を設定する磁場発生源と、200A以上のアーク電流値を設定するアーク電源とを備えていることを特徴とする真空アーク蒸発源。
IPC (1件)：
C23C 14/24
FI (2件)：
C23C14/24 F ,  C23C14/24 E
Fターム (8件)：
4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029DB01 ,  4K029DB07 ,  4K029DB08 ,  4K029DC13 ,  4K029DC43 ,  4K029DD06
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
  • 特開平1-234562
  • 被覆を有する物品
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-156569   出願人：マスココーポレーション
  • アーク式蒸発源
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-207277   出願人：日新電機株式会社
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