特許
J-GLOBAL ID：200903032526263787

露光装置及びパターンエラー検出方法

発明者：
藤吉 浩二

藤吉 浩二 について

, 
滝川 正実

滝川 正実 について


出願人/特許権者：
株式会社アドバンテスト

株式会社アドバンテスト について


代理人 (1件)： 龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-353141
公開番号（公開出願番号）：特開2004-186513
出願日： 2002年12月04日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
【課題】ウェハに露光された露光パターンのエラーを正確に検出できる露光装置及びパターンエラー検出方法を提供する。【解決手段】ウェハに所望の露光パターンを露光する露光装置であって、ウェハに露光すべき露光パターンのデータである露光データを保持するバッファメモリと、第1領域を露光するための第1制御信号に基づいてバッファメモリが出力した第1露光データと、第1領域と同一の露光パターンが露光されるべき第2領域を露光するための第2制御信号に基づいてバッファメモリが出力した第2露光データとを比較する比較部と、比較部による比較結果に基づいて、ウェハに露光された露光パターンのエラーを検出するエラー検出部とを備える。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
ウェハに所望の露光パターンを露光する露光装置であって、 前記ウェハに露光すべき露光パターンのデータである露光データを保持するバッファメモリと、 第1領域を露光するための第1制御信号に基づいて前記バッファメモリが出力した第1露光データと、前記第1領域と同一の露光パターンが露光されるべき第2領域を露光するための第2制御信号に基づいて前記バッファメモリが出力した第2露光データとを比較する比較部と、 前記比較部による比較結果に基づいて、前記ウェハに露光された露光パターンのエラーを検出するエラー検出部と を備えることを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L21/027 ,  G03F7/20
FI (3件)：
H01L21/30 541J ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 541S
Fターム (9件)：
5F056AA06 ,  5F056AA07 ,  5F056AA22 ,  5F056BA10 ,  5F056CA05 ,  5F056CA28 ,  5F056CB14 ,  5F056CD01 ,  5F056CD09
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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