走査電子顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-063010
公開番号（公開出願番号）：特開平9-259807
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】観察視野の選択時に、画像上を任意の位置,大きさの枠で囲むことで、電子顕微鏡の試料観察操作を容易にすることを目的とする。【解決手段】観察画像に四角枠を重ねて表示し、倍率可変のための偏向用電磁コイルと試料の位置可変のための試料移動機構を制御するよう構成した走査電子顕微鏡等の装置。【効果】走査電子顕微鏡等における煩わしい操作の一つである観察視野の選択が容易となり、操作性が向上する。

請求項（抜粋）：

集束された電子ビームを倍率に応じて試料上を走査するための偏向器と、試料を移動させるための移動機構とその制御装置を備えた走査電子顕微鏡において、まず観察画像上に任意の位置,大きさの四角枠を重ねて表示し、次に前記四角枠に対応した位置と倍率の画像を切り換えて表示するよう、試料移動および電子ビームの偏向を制御する手段を設け、視野選択を容易にすることを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/22 502 , H01J 37/22

FI (2件)：

H01J 37/22 502 C , H01J 37/22 502 H

引用特許：

審査官引用 (2件)

走査形電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-276442 出願人：株式会社日立製作所
特開昭61-096644

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