特許
J-GLOBAL ID：200903032638495184

電界放射型電子銃を備えた電子ビーム装置

発明者：
箕田 政顕

箕田 政顕 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-153692
公開番号（公開出願番号）：特開2002-352759
出願日： 2001年05月23日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：
【要約】【課題】 どのような照射電流の領域でも無理なく最適に使用できる電界放射型電子銃を備えた電子ビーム装置を実現する。【解決手段】 電子エミッタ1から発生した電子ビームは、第1のコンデンサレンズ4によって平行ビームまたは実線モードビームとされる。その結果、アノード電極3により制限される電子線を最小限に抑えることができる。なお、第1のコンデンサレンズ4の励磁を平行ビーム条件に固定するので、仮想光源の移動がなくなることになり、軸精度の向上が図られることになる。
請求項（抜粋）：
電界放射エミッタと、エミッタから電子を引き出すための引出電極と、エミッタから放射された電子ビームを加速するためのアノード電極とを有した電界放射型電子銃と、引出電極より引き出された電子ビームを平行ビームとするための第1のコンデンサレンズと、アノード電極の下方に設けられた第2のコンデンサレンズと、開き角制御レンズと、試料上に電子ビームを集束するための対物レンズとを有した電界放射型電子銃を備えており、第1のコンデンサレンズにより電子ビームを平行ビームまたは実線モードビームとするようにされている電界放射型電子銃を備えた電子ビーム装置。
IPC (5件)：
H01J 37/141 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/073 ,  H01J 37/12 ,  H01J 37/28
FI (5件)：
H01J 37/141 Z ,  G21K 5/04 M ,  H01J 37/073 ,  H01J 37/12 ,  H01J 37/28 B
Fターム (10件)：
5C030CC01 ,  5C030CC04 ,  5C030CC07 ,  5C033CC01 ,  5C033CC06 ,  5C033DD07 ,  5C033DD09 ,  5C033DE02 ,  5C033DE06 ,  5C033UU02
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (6件)
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