特許
J-GLOBAL ID：200903032652759640

感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターンの形成方法

発明者：
谷津 克也

谷津 克也 について

, 
駒野 博司

駒野 博司 について


出願人/特許権者：
東京応化工業株式会社

東京応化工業株式会社 について


代理人 (1件)： 服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-271801
公開番号（公開出願番号）：特開2003-076012
出願日： 2001年09月07日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：
【要約】【課題】透明性、耐熱性、現像性、平坦性に優れた感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターンの形成方法を提供すること。【解決手段】(a)ラジカル重合性化合物と脂環式エポキシ基含有重合性不飽和化合物の構造単位を必須成分として含む共重合体及び(b)キノンジアジド基含有化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターンの形成方法。
請求項（抜粋）：
(a)ラジカル重合性化合物と脂環式エポキシ基含有重合性不飽和化合物の構造単位を必須成分として含む共重合体及び(b)キノンジアジド基含有化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/033 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/40 501
FI (3件)：
G03F 7/033 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/40 501
Fターム (19件)：
2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB41 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA10 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04
引用特許：
審査官引用 (3件)

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