特許
J-GLOBAL ID：200903032710899228

固体撮像素子の製造方法

発明者：
東宮 祥哲

東宮 祥哲 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-267397
公開番号（公開出願番号）：特開2002-076316
出願日： 2000年09月04日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：
【要約】【課題】 無効領域を低減することにより、高い感度を有する固体撮像素子を製造することができる固体撮像素子の製造方法を提供する。【解決手段】 各センサ部2上に表面側が凸面とされた層内レンズ9を有する固体撮像素子を製造するに当たり、平坦化膜7上に層内レンズ9のレンズ材の膜8を形成する工程と、このレンズ材の膜8上に所定のレンズ形状のレジスト21を形成する工程と、このレジスト21のレンズ形状をレンズ材の膜8に転写する工程と、レンズ形状が転写されたレンズ材の膜8上にさらに同一のレンズ材の膜22を成膜して層内レンズ9を形成する工程とを有して製造を行う。
請求項（抜粋）：
各センサ部上に表面側が凸面とされた層内レンズを有する固体撮像素子を製造する方法であって、平坦化膜上に層内レンズのレンズ材の膜を形成する工程と、上記レンズ材の膜上に所定のレンズ形状のレジストを形成する工程と、上記レジストのレンズ形状を上記レンズ材の膜に転写する工程と、レンズ形状が転写された上記レンズ材の膜上に、さらに同一のレンズ材の膜を成膜して上記層内レンズを形成する工程とを有することを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
IPC (4件)：
H01L 27/14 ,  G02F 1/1335 ,  H01L 31/02 ,  H04N 5/335
FI (4件)：
G02F 1/1335 ,  H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 D ,  H01L 31/02 B
Fターム (27件)：
2H091FA29Z ,  2H091FA41Z ,  2H091FA48Z ,  2H091FC01 ,  2H091LA03 ,  4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA40 ,  4M118CB14 ,  4M118FA06 ,  4M118GB11 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024EX42 ,  5C024GX03 ,  5C024GY01 ,  5C024GZ34 ,  5F088AA01 ,  5F088BA01 ,  5F088BB03 ,  5F088EA04 ,  5F088HA20
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 固体撮像素子の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-189353   出願人：ソニー株式会社
  • 特開昭60-262458
  • 特開平4-226073
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