微細コイルおよびその製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：中島淳 , 加藤和詳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-323540
公開番号（公開出願番号）：特開2008-140846
出願日： 2006年11月30日
公開日（公表日）： 2008年06月19日
要約：

【課題】温度の高い条件でも、コイルを通過する磁束量の変化が少ない微細コイルおよびその製造方法を提供する。【解決手段】対向するように設けられた複数の貫通孔12を有する基板10と、貫通孔12の表面を被覆するか、または、貫通孔を埋める貫通配線14と、対向する貫通孔12の貫通配線14同士を螺旋状に繋ぐコイル配線16と、を有し、基板10がSiまたはアルミナからなる微細コイルである。また、Siまたはアルミナからなる基板に、複数の貫通孔を対向するように設ける貫通孔形成工程と、前記貫通孔に、貫通配線を設ける貫通配線形成工程と、フォトエッチングにより、対向する前記貫通配線同士を螺旋状に繋ぐコイル配線を設けるコイル配線形成工程と、を順次含む微細コイルの製造方法である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

対向するように設けられた複数の貫通孔を有する基板と、前記貫通孔の表面を被覆するか、または、前記貫通孔を埋める貫通配線と、対向する前記貫通孔の前記貫通配線同士を螺旋状に繋ぐコイル配線と、を有し、前記基板がSiまたはアルミナからなる微細コイル。

IPC (3件)：

H01F 17/00 , H05K 1/16 , H01F 41/04

FI (3件)：

H01F17/00 A , H05K1/16 B , H01F41/04 C

Fターム (14件)：

4E351AA06 , 4E351AA07 , 4E351BB10 , 4E351BB24 , 4E351BB26 , 4E351BB33 , 4E351BB49 , 4E351CC06 , 4E351DD02 , 4E351GG06 , 5E062DD01 , 5E070AA01 , 5E070CB06 , 5E070CB12

引用特許：

出願人引用 (1件)

両面プリント配線板
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-201802 出願人：日本シイエムケイ株式会社

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