感光性ガラス及びその加工方法並びにインクジェットプリンタ用部品の製造方法及び半導体基板の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人特許事務所サイクス (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-025872
公開番号（公開出願番号）：特開2003-226548
出願日： 2002年02月01日
公開日（公表日）： 2003年08月12日
要約：

【要約】【課題】良好な加工が可能な感光性ガラス及び前記ガラスの加工方法、並びに前記感光性ガラスを用いたインクジェットプリンタ用部品及び半導体基板の製造方法を提供すること。【解決手段】CeO2を含み、波長250nmにおける分光透過率(厚さ1mmに換算した値)が11%以上であり、かつ大気中にて、波長290〜340nmの紫外線を500〜700mJ/cm2の範囲のいずれかのエネルギー密度で照射した後、580°Cで2時間加熱した後の波長500nmにおける分光透過率(厚さ1mmに換算した値)が10%以下となる透過率特性を有することを特徴とする感光性ガラス。前記ガラスの加工方法、並びに前記感光性ガラスを用いたインクジェットプリンタ用部品及び半導体基板の製造方法。

請求項（抜粋）：

CeO2を含み、波長250nmにおける分光透過率(厚さ1mmに換算した値)が11%以上であり、かつ大気中にて、波長290〜340nmの紫外線を500〜700mJ/cm2の範囲のいずれかのエネルギー密度で照射した後、580°Cで2時間加熱した後の波長500nmにおける分光透過率(厚さ1mmに換算した値)が10%以下となる透過率特性を有することを特徴とする感光性ガラス。

IPC (4件)：

C03C 4/04 , B41J 2/16 , C03C 3/095 , C03C 10/12

FI (4件)：

C03C 4/04 , C03C 3/095 , C03C 10/12 , B41J 3/04 103 H

Fターム (86件)：

2C057AF93 , 2C057AP31 , 2C057AQ01 , 4G062AA11 , 4G062BB01 , 4G062CC04 , 4G062DA07 , 4G062DB02 , 4G062DB03 , 4G062DC01 , 4G062DC02 , 4G062DD01 , 4G062DD02 , 4G062DE01 , 4G062DE02 , 4G062DE03 , 4G062DF01 , 4G062EA03 , 4G062EA04 , 4G062EB01 , 4G062EB02 , 4G062EB03 , 4G062EC01 , 4G062EC02 , 4G062EC03 , 4G062ED01 , 4G062ED02 , 4G062ED03 , 4G062EE01 , 4G062EE02 , 4G062EE03 , 4G062EF01 , 4G062EF02 , 4G062EF03 , 4G062EG01 , 4G062EG02 , 4G062EG03 , 4G062FA01 , 4G062FB01 , 4G062FB02 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FE01 , 4G062FE02 , 4G062FE03 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FG02 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FL02 , 4G062GA01 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE01 , 4G062GE02 , 4G062GE03 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH04 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ07 , 4G062JJ10 , 4G062KK01 , 4G062KK03 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM23 , 4G062MM27 , 4G062NN16 , 4G062NN17 , 4G062NN32 , 4G062QQ06

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-069528
特公昭37-005022
特開平2-255542

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