特許
J-GLOBAL ID：200903032803429981
インプリント・リソグラフィ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 吉田 裕
, 森 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-114629
公開番号（公開出願番号）：特開2006-303502
出願日： 2006年04月18日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】小型、高解像度、安価なインプリント・リソグラフィを提供する。【解決手段】インプリント・テンプレート1を保持するように構成されたテンプレート・ホルダ6と、基板テーブル3とを有するインプリント・リソグラフィ装置において、該テンプレート・ホルダ6は、高圧通路9を通してガスを供給し、かつ、インプリント・テンプレート1と基板テーブル3上に保持されている基板2との間の分離距離を制御するように構成されたガス支承体(テンプレート・ホルダ)6を有する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
インプリント・テンプレートを保持するように構成されたテンプレート・ホルダと、基板テーブルとを含み、
前記テンプレート・ホルダが、高圧通路を通してガスを供給し、かつ、前記インプリント・テンプレートと前記基板テーブル上に保持された基板との間の分離距離を制御するように構成されたガス支承体を有するインプリント・リソグラフィ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, B82B3/00
