特許
J-GLOBAL ID：200903032828923735

液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置

発明者：
上野 嘉一

上野 嘉一 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-139420
公開番号（公開出願番号）：特開2003-326724
出願日： 2002年05月15日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：
【要約】【課題】 ノズル一体型流路板を低コストで形成することができない。【解決手段】 ノズル4、ノズル連通路5、加圧液室6を形成する流路板1は、シリコン基板31にノズル厚さに相当するエッチングマスク層32を用いてエッチングによりノズル穴35が形成された後、シリコン基板41にエッチングマスク層32と反対面からノズル連通路用マスク36を用いてエッチングによりノズル連通管37が形成され、更に液室用マスク38を用いてエッチングにより液室用凹部39が形成されたものである。
請求項（抜粋）：
ノズル及びこのノズルがノズル連通路を介して連通する流路を形成する流路部材を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記流路部材は、シリコン基板にノズル厚さに相当するエッチングマスク層を用いてエッチングにより前記ノズルが形成された後、前記シリコン基板に前記エッチングマスク層と反対面からノズル連通路用マスクを用いてエッチングによりノズル連通路が形成され、更に液室用マスクを用いてエッチングにより液室が形成されたものであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A
Fターム (10件)：
2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AG47 ,  2C057AP02 ,  2C057AP12 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP34 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA14
引用特許：
審査官引用 (4件)
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