特許

J-GLOBAL ID：200903006556485597

インクジェット記録ヘッドの製造方法

発明者： 尾崎 照夫 ,  斉藤 一郎 ,  廣木 知之 ,  今仲 良行 ,  久保田 雅彦 ,  石永 博之 ,  池田 雅実 ,  小川 正彦 ,  八木 隆行 ,  望月 無我 ,  樫野 俊雄
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-346075
公開番号（公開出願番号）：特開2000-225708
出願日： 1998年12月04日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、インク吐出圧力発生素子と吐出口間の距離を極めて高い精度で短くかつ再現よく設定可能であると同時に、熱による変形がなく、耐インク性、耐腐食性に優れ、寸法精度が高く、さらに膨潤等がなく信頼性の高い、高品位記録が可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 インク吐出圧力発生素子7が形成された基体1上に、溶解可能な第1の無機材料を用いてインク流路パターン状に第1無機材料膜2を形成する工程と、第1無機材料膜上に、第2の無機材料を用いてインク流路壁となる第2無機材料膜3を形成する工程と、前記インク吐出圧力発生素子上方の前記第2無機材料膜にインク吐出口14を形成する工程と、前記第1無機材料膜を溶出する工程とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法。

請求項（抜粋）：

インク吐出圧力発生素子が形成された基体上に、溶解可能な第1の無機材料を用いてインク流路パターン状に第1無機材料膜を形成する工程と、第1無機材料膜上に、第2の無機材料を用いてインク流路壁となる第2無機材料膜を形成する工程と、前記インク吐出圧力発生素子上方の前記第2無機材料膜にインク吐出口を形成する工程と、前記第1無機材料膜を溶出する工程と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法。

IPC (2件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/05

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 B

Fターム (15件)：

2C057AF24 ,  2C057AF70 ,  2C057AF93 ,  2C057AG02 ,  2C057AG07 ,  2C057AG14 ,  2C057AG46 ,  2C057AP02 ,  2C057AP13 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP60 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA13

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 液体噴射記録ヘッドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-144502   出願人：キヤノン株式会社
• インクジェット記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-101232   出願人：キヤノン株式会社
• 液体噴射記録ヘッド用基体及びその製造方法及び液体噴射記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-185743   出願人：キヤノン株式会社
• インクジェット記録ヘッド用基板、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-334934   出願人：キヤノン株式会社